| 2019.12.07
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EUV공정 (Extreme Ultra-Violet).
Dry와 Wet의 차이 설명
식각공정 후 특성이 달라졌을 때 그 원인과 각 원인별 해결책은?
Etching과 관련 된 장비
미세공정에서 Dry etch를 많이 사용하는 이유
에칭의 정의와 원리, 공정, 종류설명하기.
>>접근시 전반적인 etch 공정에 대한 학습 필요.
DC및 RF Plasma에 대한 기초 지식 습득
Wet, Dry의 비교.