이론이 어려웠던 Photo 공정 마스터하기

| 2019.12.07

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전공정 중에서 가장 어려운 공정을 고르라고 하면 Photo 공정이었습니다. 학교에서는 배우지 못했던 부분을 이번 강의에서 배울수 있었습니다. 노광공정은 가장 기본이 되는 공정으로, 출제횟수가 상당히 많았고 꾀나 복잡한 개념이 필요했습니다. 기본적인 노광의 원리와 가장 중요한 해상력, 이머젼기술 그리고 최신기술인 EUV에 대하여 공부하였습니다. 노광공정으로는 3가지 시스템이 있습니다. Contact, Proximity, Projection Printing 이 있습니다. 부착하는방식, 갭을 두는 방식(가스로 인해 분해능 감소, 회절 발생), 렌즈를 하나 더 사용하여 결점을 제거하고 고해상도를 구상하는 방식으로 가장 많이 사용되는 노광시스템 입니다. 후로는 노광공정에 대해서 심도있는 내용을 배울 수 있게 되어서 좋은 시간이 되었습니다.